本公開涉及用于熱處理工序等的間歇(batch)式熱處理爐。
背景技術：
1、在陶瓷電子部件等各種產(chǎn)品的制造工序中，使用對部件及半產(chǎn)品等進行熱處理的熱處理爐。作為熱處理爐，可舉出間歇式的熱處理爐和連續(xù)式的熱處理爐。間歇式熱處理爐能夠適用于例如在相同條件下進行的熱處理對象的工件數(shù)較少的情況、或需要在不同的多個條件下對分成多個組的工件進行熱處理的情況等。
2、另一方面，受到近年來的成為熱處理對象的電子部件的高精密化及要求性能的提高等，存在更嚴格地管理熱處理中的溫度、壓力、氣氛等處理條件的期望。為了嚴格地管理間歇式熱處理爐等中的熱處理條件，抑制爐內(nèi)的溫度分布的偏差是有效果的。作為抑制間歇式熱處理爐中的爐內(nèi)溫度分布的偏差的現(xiàn)有技術，例如，可舉出在從供氣管向爐內(nèi)供給氣體時，從供氣管噴射的氣體被加熱器的熱加熱并且分散于爐內(nèi)(參照專利文獻1等)。
3、現(xiàn)有技術文獻
4、專利文獻
5、專利文獻1：日本專利第4385213號說明書
技術實現(xiàn)思路
1、發(fā)明所要解決的問題
2、但是，在現(xiàn)有的間歇式熱處理爐中存在如下問題，由于爐內(nèi)的氣體的排出口的位置的偏離等，不能充分抑制爐內(nèi)溫度分布的偏差。
3、用于解決問題的技術方案
4、為了解決上述問題，本公開提供一種間歇式熱處理爐，其具有：
5、爐床；
6、爐壁，其具有設置為包圍所述爐床的側(cè)壁及頂壁，與所述爐床一起在內(nèi)部形成爐室；
7、加熱器，其對所述爐室進行加熱；
8、中空筒狀的第一排氣管，其從所述爐床或所述頂壁沿上下方向插入所述爐室；
9、第二排氣管，其比所述第一排氣管直徑更大，所述第一排氣管插通其內(nèi)部，并且相比于所述第一排氣管向所述爐室的插入長度更短；以及
10、一對排氣流量調(diào)整塊，其能夠封閉中央開口的至少一部分及第一外周開口的至少一部分，并且隔著作為所述第一排氣管及所述第二排氣管的中心軸的排氣管中心軸，在其間形成可變寬度的縫隙，所述中央開口為形成于所述第一排氣管的內(nèi)部的第一排氣流路的爐外側(cè)開口，所述第一外周開口為形成于所述第一排氣管和所述第二排氣管之間的第二排氣流路的爐外側(cè)開口。
11、本公開的間歇式熱處理爐成為雙重管結(jié)構，通過在上下方向上以不同的長度插入的第一及第二排氣管構成的排氣結(jié)構，能夠減少排氣流路的入口位置的偏離。另外，通過形成縫隙并封閉排氣管的爐外開口的至少一部分的排氣流量調(diào)整塊，能夠以簡單的結(jié)構保持對每各排氣流路的平衡并且調(diào)整來自第一及第二排氣流路的排氣流量。這種間歇式熱處理爐能夠降低爐室中的溫度及壓力的偏差。另外，排氣流量調(diào)整塊還發(fā)揮如下效果，通過減少氣體的排出流量而促進氣體中所含的煤等的燃燒，從而減少排出的氣體中所含的煤等，防止建筑物的共同排氣流路等的污染。
12、另外，例如，也可以是，在一對所述排氣流量調(diào)整塊的隔著所述縫隙的各自的相對面形成有凹凸。
13、通過在排氣流量調(diào)整塊的相對面形成凹凸，能夠調(diào)整伴隨縫隙的寬度的變更的中央開口及第一外周開口的開口面積的比率的變化。
14、另外，例如，也可以是，所述凹凸以第一寬度比第二寬度窄的方式形成于所述相對面，所述第一寬度為在距所述排氣管中心軸第一距離的所述縫隙的寬度，所述第二寬度為在距所述排氣管中心軸比所述第一距離長的第二距離的所述縫隙的寬度。
15、通過排氣流量調(diào)整塊的相對面具有這種凹凸形狀，在改變縫隙寬度的情況下，也能夠?qū)⒅醒腴_口和第一外周開口的開口面積的比率納入規(guī)定的范圍內(nèi)。
16、另外，例如，也可以是，本公開的間歇式熱處理爐具有：塊保持構件，其將一對所述排氣流量調(diào)整塊保持成能夠沿著一對所述排氣流量調(diào)整塊的相對方向滑動移動。
17、具有這種塊保持構件的間歇式熱處理爐能夠容易地高精度地調(diào)整縫隙寬度，因此排出流量的調(diào)整容易，維護性優(yōu)異。
18、另外，例如，也可以是，還具有：第三排氣管，其比所述第二排氣管直徑大，所述第一排氣管及所述第二排氣管插通其內(nèi)部，并且相比于所述第二排氣管向所述爐室的插入長度更短，
19、一對所述排氣流量調(diào)整塊能夠封閉第二外周開口的至少一部分，所述第二外周開口為形成于所述第二排氣管和所述第三排氣管之間的第三排氣流路的爐外側(cè)開口。
20、這種間歇式熱處理爐，通過在上下方向上以不同的長度插入的第一～第三排氣管構成的三層的排氣結(jié)構，能夠進一步減少排氣流路的入口的位置的偏離。另外，排氣流量調(diào)整塊能夠以簡單的結(jié)構保持平衡并且集中調(diào)整來自第一～第三排氣流路的排氣流量。
21、另外，例如，也可以是，具有：多個供氣管，其在所述爐室設置有開口，并經(jīng)由所述側(cè)壁向所述爐室供給氣體，
22、所述多個供氣管包含：從各供氣管的開口至作為所述第一排氣流路的爐內(nèi)開口的第一開口的距離相等的至少兩個供氣管，
23、所述多個供氣管包含：從各供氣管的開口至作為所述第二排氣流路的爐內(nèi)開口的第二開口的距離相等的至少兩個供氣管。
24、這種間歇式熱處理爐，由于相對于各第一及第二排氣流路的第一及第二開口具有距第一～第三排氣流路的第一～第三開口的距離相同的至少兩個供氣管，因此，能夠減小因距氣體的供給位置的距離不同而產(chǎn)生的溫度分布及壓力分布的偏差。
25、另外，例如，也可以是，所述爐床以沿所述上下方向延伸的主旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)軸進行旋轉(zhuǎn)，
26、也可以是，所述排氣管中心軸與所述主旋轉(zhuǎn)軸的延長線大致一致。
27、這種間歇式熱處理爐，通過載置有工件等的爐床旋轉(zhuǎn)，特別地，能夠降低由工件的旋轉(zhuǎn)方向的位置不同而引起的熱處理條件的偏差。另外，間歇式熱處理爐，即使工件或爐床旋轉(zhuǎn)，通過將在主旋轉(zhuǎn)軸的延長線上具有排氣管中心軸的排出流路的爐內(nèi)開口配置于兩個以上的不同的高度，也實現(xiàn)氣體順暢的排出和平衡良好的排出量的調(diào)整。
28、另外，例如，也可以是，所述爐床具有：副爐床，其以所述主旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)軸進行公轉(zhuǎn)，并且以與所述主旋轉(zhuǎn)軸平行且距所述主旋轉(zhuǎn)軸規(guī)定距離的副旋轉(zhuǎn)軸為自轉(zhuǎn)軸進行自轉(zhuǎn)。
29、這種間歇式熱處理爐，特別地，能夠降低由工件距側(cè)壁或爐室的中心部的距離不同而引起的熱處理條件的偏差。
1.一種間歇式熱處理爐，其具有：
2.根據(jù)權利要求1所述的間歇式熱處理爐，其中，
3.根據(jù)權利要求2所述的間歇式熱處理爐，其中，
4.根據(jù)權利要求1所述的間歇式熱處理爐，其中，
5.根據(jù)權利要求1所述的間歇式熱處理爐，其中，
6.根據(jù)權利要求1所述的間歇式熱處理爐，其中，
7.根據(jù)權利要求1所述的間歇式熱處理爐，其中，
8.根據(jù)權利要求7所述的間歇式熱處理爐，其中，