本技術(shù)涉及磁控濺射領(lǐng)域，尤指一種鍍膜輥及卷繞裝置。

背景技術(shù)：

1、鍍膜輥，用于運輸基材膜和通過降低其表面溫度，對基材膜采取降溫。

2、根據(jù)檢索發(fā)現(xiàn)，如專利號cn220665438u名稱為一種冷卻裝置及包含該冷卻裝置的鍍膜輥，從其內(nèi)容可知，輥體內(nèi)設(shè)置有第一冷卻水管、第二冷卻水管，通過第一冷卻水管、第二冷卻水管將熱量帶走，然而，這種散熱效果不佳。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為解決上述問題，本實用新型提供一種鍍膜輥及卷繞裝置，旨在解決散熱效果不佳的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：一種鍍膜輥，包含有內(nèi)筒體、外筒體、輥軸，外筒體套在內(nèi)筒體上，內(nèi)筒體的外周面上設(shè)有多段呈螺旋狀的外旋環(huán)，外旋環(huán)與外筒體的內(nèi)壁相抵后，形成了多頭螺旋水道，輥軸貫穿內(nèi)筒體與外筒體，使內(nèi)筒體、外筒體旋轉(zhuǎn)，螺旋水道內(nèi)的冷卻液被外旋環(huán)旋轉(zhuǎn)推進。

3、一種卷繞裝置，設(shè)置在真空室內(nèi)，卷繞裝置包含有上述鍍膜輥和水冷板，水冷板具有與鍍膜輥外周面相適配的弧度，水冷板被固定在真空室內(nèi)，與鍍膜輥兩端的周沿相鄰，水冷板內(nèi)設(shè)有流道。

4、進一步地，水冷板的表面設(shè)有多個長槽口。

5、進一步地，還包含有冷卻擋板，冷卻擋板是近距離相鄰在鍍膜輥兩端外，使得鋪展在鍍膜輥外周面上的基材膜的兩邊，與冷卻擋板之間形成有熱傳導(dǎo)用的縫隙，冷卻擋板上設(shè)有水帶，水帶內(nèi)具有流動的冷卻液，通過水帶帶走冷卻擋板上的熱輻射。

6、進一步地，冷卻擋板包含有面板、側(cè)板、水帶，側(cè)板有一邊沿為圓弧狀，側(cè)板的邊沿與鍍膜輥端面的周沿是重合的，側(cè)板的邊沿與面板的側(cè)面相連后，面板獲得了相應(yīng)的弧形狀，使得面板的表面與鍍膜輥的外周面齊平，水帶設(shè)置在面板上，水帶內(nèi)具有流動的冷卻液。

7、進一步地，在側(cè)板與面板相連后，構(gòu)成一個半包圍的空間，面板作為該空間的一面為內(nèi)面，水帶裝配到面板內(nèi)。

8、進一步地，還包含有連接柱，側(cè)板之間通過連接柱相連。

9、進一步地，側(cè)板與面板之間是焊接固定的。

10、進一步地，側(cè)板的另一個邊沿為形成有多個內(nèi)角或者為弧形。

11、本實用新型的有益效果：

12、本實用新型主要是在內(nèi)筒體上使用了多段外旋環(huán)，與外筒體構(gòu)成的多頭螺旋水道能夠擴增單頭螺旋水道的螺距，這就使得內(nèi)筒體在轉(zhuǎn)動一圈后，冷卻液的行程變大，換言之，縮短了冷卻液在內(nèi)筒體內(nèi)的停留時間，提高了熱交換效率，并且，這種設(shè)計下并未縮減冷卻液與外筒體的接觸面積，因此，本實用新型具有顯著的散熱效果。

技術(shù)特征：

1.一種鍍膜輥，其特征在于，包含有內(nèi)筒體、外筒體、輥軸，外筒體套在內(nèi)筒體上，內(nèi)筒體的外周面上設(shè)有多段呈螺旋狀的外旋環(huán)，外旋環(huán)與外筒體的內(nèi)壁相抵后，形成了多頭螺旋水道，輥軸貫穿內(nèi)筒體與外筒體，使內(nèi)筒體、外筒體旋轉(zhuǎn)，螺旋水道內(nèi)的冷卻液被外旋環(huán)旋轉(zhuǎn)推進。

2.一種卷繞裝置，設(shè)置在真空室內(nèi)，其特征在于，包含有如權(quán)利要求1所述的一種鍍膜輥。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種卷繞裝置，其特征在于，還包含有水冷板，水冷板具有與鍍膜輥外周面相適配的弧度，水冷板被固定在真空室內(nèi)，與鍍膜輥兩端的周沿相鄰，水冷板內(nèi)設(shè)有流道。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種卷繞裝置，其特征在于，水冷板的表面設(shè)有多個長槽口。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種卷繞裝置，其特征在于，還包含有冷卻擋板，冷卻擋板是近距離相鄰在鍍膜輥兩端外，使得鋪展在鍍膜輥外周面上的基材膜的兩邊，與冷卻擋板之間形成有熱傳導(dǎo)用的縫隙，冷卻擋板上設(shè)有水帶，水帶內(nèi)具有流動的冷卻液，通過水帶帶走冷卻擋板上的熱輻射。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種卷繞裝置，其特征在于，冷卻擋板包含有面板、側(cè)板、水帶，側(cè)板有一邊沿為圓弧狀，側(cè)板的邊沿與鍍膜輥端面的周沿是重合的，側(cè)板的邊沿與面板的側(cè)面相連后，面板獲得了相應(yīng)的弧形狀，使得面板的表面與鍍膜輥的外周面齊平，水帶設(shè)置在面板上，水帶內(nèi)具有流動的冷卻液。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種卷繞裝置，其特征在于，在側(cè)板與面板相連后，構(gòu)成一個半包圍的空間，面板作為該空間的一面為內(nèi)面，水帶裝配到面板內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種卷繞裝置，其特征在于，還包含有連接柱，側(cè)板之間通過連接柱相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種卷繞裝置，其特征在于，側(cè)板與面板之間是焊接固定的。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種卷繞裝置，其特征在于，側(cè)板的另一個邊沿為形成有多個內(nèi)角或者為弧形。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及磁控濺射領(lǐng)域，尤指一種鍍膜輥及卷繞裝置，卷繞裝置包含有鍍膜輥和水冷板，水冷板具有與鍍膜輥外周面相適配的弧度，水冷板被固定在真空室內(nèi)，與鍍膜輥兩端的周沿相鄰，水冷板內(nèi)設(shè)有流道；鍍膜輥，包含有內(nèi)筒體、外筒體、輥軸，外筒體套在內(nèi)筒體上，內(nèi)筒體的外周面上設(shè)有多段呈螺旋狀的外旋環(huán)，外旋環(huán)與外筒體的內(nèi)壁相抵后，形成了多頭螺旋水道，輥軸貫穿內(nèi)筒體與外筒體，使內(nèi)筒體、外筒體旋轉(zhuǎn)，螺旋水道內(nèi)的冷卻液被外旋環(huán)旋轉(zhuǎn)推進；本技術(shù)主要是在內(nèi)筒體上使用了多段外旋環(huán)，與外筒體構(gòu)成的多頭螺旋水道能夠擴增單頭螺旋水道的螺距，這就使得內(nèi)筒體在轉(zhuǎn)動一圈后，冷卻液的行程變大。

技術(shù)研發(fā)人員：李志榮,羅軍文,陸創(chuàng)程,李安康
受保護的技術(shù)使用者：廣東匯成真空科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240914
技術(shù)公布日：2025/6/23