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一種采用可位移UV-LED燈源模組的PCB雙面光刻光路結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:42296783發(fā)布日期:2025-06-27 18:34閱讀:5來源:國知局

本發(fā)明涉及光刻設(shè)備,特別涉及一種采用可位移uv-led燈源模組的pcb雙面光刻光路結(jié)構(gòu)。


背景技術(shù):

1、在對pcb表面進行線路光刻時,一般不同的設(shè)備的光源波長是不同的,大型公司一般都會購入采用較多不同波長光源的設(shè)備。但是對于較小的企業(yè)或者研發(fā)機構(gòu)采購設(shè)備較多時,需要大量的資金和大面積的高要求場地,對于成本壓力比較大,且使用頻次較低,故現(xiàn)有的光刻設(shè)備對于較小的企業(yè)或者研發(fā)機構(gòu)不是很適用。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種采用可位移uv-led燈源模組的pcb雙面光刻光路結(jié)構(gòu),解決了現(xiàn)有的光刻設(shè)備對于較小的企業(yè)或者研發(fā)機構(gòu)成本高、適用性低的技術(shù)問題。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種采用可位移uv-led燈源模組的pcb雙面光刻光路結(jié)構(gòu),包括燈源切換模組,所述燈源切換模組的一側(cè)依次設(shè)置有復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組、均光模組和分光機構(gòu),所述分光機構(gòu)的一側(cè)對應(yīng)設(shè)置有第一曲面鏡和第二曲面鏡,所述第一曲面鏡和第二曲面鏡之間設(shè)置有位移透明光刻工作臺,所述燈源切換模組位于復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組的一側(cè)設(shè)置有由其驅(qū)動的多波段uv-led多燈模組和單一波段uv-led多燈模組,所述第一曲面鏡和第二曲面鏡將經(jīng)過分光機構(gòu)而來的光線分別反射向位移透明光刻工作臺的第一面和第二面,所述可位移透明光刻工作臺的第一面或者第二面上設(shè)置有pcb固定結(jié)構(gòu)。可選擇不同的光源和單雙面光刻,適用性強,成本低,可以有效滿足小企業(yè)或者研發(fā)機構(gòu)使用。

3、進一步的是:所述復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組包括至少兩個同軸設(shè)置的復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡。有效將多波段uv-led多燈模組或者單一波段uv-led多燈模組發(fā)出的光線聚焦為平行光線傳播到均光模組上,精度高。

4、進一步的是:所述均光模組包括同軸設(shè)置的微柱面鏡陣列和聚光鏡,所述微柱面鏡陣列位于靠近復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組一側(cè)。光線經(jīng)過均光模組后變?yōu)橛邪l(fā)散角度的均勻光斑,變?yōu)樗璧木鶆蚬鈭龇植肌?/p>

5、進一步的是:所述分光機構(gòu)為可反射可透射機構(gòu)。

6、進一步的是:所述分光機構(gòu)為50:50分光鏡組件。

7、進一步的是:所述燈源切換模組上設(shè)置有切換驅(qū)動機構(gòu)和位于切換驅(qū)動機構(gòu)上由其驅(qū)動的多個燈源固定結(jié)構(gòu),所述多波段uv-led多燈模組210和單一波段uv-led多燈模組上都設(shè)置有與燈源固定結(jié)構(gòu)匹配的固定部件。多波段uv-led多燈模組和單一波段uv-led多燈模組的固定位置可以互換,適用性更好。



技術(shù)特征:

1.一種采用可位移uv-led燈源模組的pcb雙面光刻光路結(jié)構(gòu),其特征在于:包括燈源切換模組(100),所述燈源切換模組(100)的一側(cè)依次設(shè)置有復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組(300)、均光模組(400)和分光機構(gòu)(500),所述分光機構(gòu)(500)的一側(cè)對應(yīng)設(shè)置有第一曲面鏡(600)和第二曲面鏡(700),所述第一曲面鏡(600)和第二曲面鏡(700)之間設(shè)置有位移透明光刻工作臺(800),所述燈源切換模組(100)位于復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組(300)的一側(cè)設(shè)置有由其驅(qū)動的多波段uv-led多燈模組(210)和單一波段uv-led多燈模組(220),所述第一曲面鏡(600)和第二曲面鏡(700)將經(jīng)過分光機構(gòu)(500)而來的光線分別反射向位移透明光刻工作臺(800)的第一面和第二面,所述可位移透明光刻工作臺(800)的第一面或者第二面上設(shè)置有pcb固定結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用可位移uv-led模組的pcb單面光刻光路結(jié)構(gòu),其特征在于:所述復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組(300)包括至少兩個同軸設(shè)置的復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用可位移uv-led模組的pcb單面光刻光路結(jié)構(gòu),其特征在于:所述均光模組(400)包括同軸設(shè)置的微柱面鏡陣列和聚光鏡,所述微柱面鏡陣列位于靠近復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組(300)一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用可位移uv-led模組的pcb雙面光刻光路結(jié)構(gòu),其特征在于:所述分光機構(gòu)(500)為可反射可透射機構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用可位移uv-led模組的pcb雙面光刻光路結(jié)構(gòu),其特征在于:所述分光機構(gòu)(500)為50:50分光鏡組件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用可位移uv-led模組的pcb雙面光刻光路結(jié)構(gòu),其特征在于:所述燈源切換模組(100)上設(shè)置有切換驅(qū)動機構(gòu)和位于切換驅(qū)動機構(gòu)上由其驅(qū)動的多個燈源固定結(jié)構(gòu),所述多波段uv-led多燈模組(210)和單一波段uv-led多燈模組(220)上都設(shè)置有與燈源固定結(jié)構(gòu)匹配的固定部件。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種采用可位移UV?LED燈源模組的PCB雙面光刻光路結(jié)構(gòu),包括燈源切換模組,燈源切換模組的一側(cè)依次設(shè)置有復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組、均光模組和分光機構(gòu),分光機構(gòu)的一側(cè)對應(yīng)設(shè)置有第一曲面鏡和第二曲面鏡,第一曲面鏡和第二曲面鏡之間設(shè)置有位移透明光刻工作臺,燈源切換模組位于復(fù)眼前準(zhǔn)直透鏡組的一側(cè)設(shè)置有由其驅(qū)動的多波段UV?LED多燈模組和單一波段UV?LED多燈模組,第一曲面鏡和第二曲面鏡將經(jīng)過分光機構(gòu)而來的光線分別反射向位移透明光刻工作臺的第一面和第二面,可位移透明光刻工作臺的第一面或者第二面上設(shè)置有PCB固定結(jié)構(gòu)。可選擇不同的光源和單雙面光刻,適用性強,成本低,可以有效滿足小企業(yè)或者研發(fā)機構(gòu)使用。

技術(shù)研發(fā)人員:吳昭慶,莊益禎
受保護的技術(shù)使用者:墨科微電子(無錫)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/6/26
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