本發(fā)明涉及光敏樹脂組合物、使用了該光敏樹脂組合物的光敏樹脂覆膜、光敏干膜、圖案形成方法及發(fā)光元件。
背景技術(shù)：
1、為了形成包含紅色、綠色及藍(lán)色的亞像素的顯示器，提出了各種方法。作為其中的一個方法，有通過色轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)體將來自led陣列的光從藍(lán)色、即較短波長的光轉(zhuǎn)換為紅色及綠色、即較長波長的光的方法。作為承擔(dān)該色轉(zhuǎn)換的物質(zhì)，使用了量子點(diǎn)。
2、近年來，該led陣列已為微尺寸，使用了該led陣列的micro-led顯示器受到關(guān)注。作為在led陣列上形成色轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)體的方法，有使用了光敏材料的光刻工藝(專利文獻(xiàn)1)，但近年來，要求進(jìn)一步微細(xì)化以適應(yīng)小型顯示器。此外，從顯示器的清晰度這一角度出發(fā)，對發(fā)光特性也有較高的要求。
3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
4、專利文獻(xiàn)
5、專利文獻(xiàn)1：日本特開2021-089347號公報(bào)
6、非專利文獻(xiàn)
7、非專利文獻(xiàn)1：journal?of?photopolymer?science?and?technology，vol?23，2010，p115-119
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、(一)要解決的技術(shù)問題
2、本發(fā)明是鑒于上述情況而成的，其目的在于提供能夠容易形成具有高光刻分辨率、良好的發(fā)光特性的覆膜的光敏樹脂組合物、使用該光敏樹脂組合物得到的光敏樹脂覆膜、光敏干膜、及使用光敏樹脂組合物和光敏樹脂覆膜的圖案形成方法、以及具備使用所述光敏樹脂覆膜而得到的固化覆膜的發(fā)光元件。
3、(二)技術(shù)方案
4、為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明中提供一種光敏樹脂組合物，其包含：
5、(a)具有縮水甘油基的有機(jī)硅樹脂、
6、(b)陽離子光聚合引發(fā)劑、及
7、(c)使利用硅烷偶聯(lián)劑進(jìn)行了配位處理的量子點(diǎn)與烷氧基硅烷、烷氧基硅烷水解物或其縮合物共聚而成的聚合物。
8、若為這種光敏樹脂組合物，則能夠容易形成具有高光刻分辨率、良好的發(fā)光特性的覆膜。
9、此外，本發(fā)明中，優(yōu)選所述(c)成分包含具有縮水甘油基的骨架。
10、若為這種光敏樹脂組合物，則會抑制量子點(diǎn)在顯影時脫出，可獲得圖案的高發(fā)光特性。
11、此外，本發(fā)明中，優(yōu)選所述(a)成分包含下述式(a1)~(a4)所表示的重復(fù)單元。
12、[化學(xué)式1]
13、
14、[式中，r1~r4各自獨(dú)立地為任選包含雜原子的碳原子數(shù)為1~20的一價(jià)烴基。m各自獨(dú)立地為1~600的整數(shù)。m為2以上的整數(shù)時，各r3任選彼此相同或不同，各r4任選彼此相同或不同。a1、a2、a3及a4為滿足0＜a1＜1、0＜a2＜1、0＜a3＜1、0＜a4＜1及a1+a2+a3+a4=1的數(shù)。x1為下述式(x1)所表示的二價(jià)基團(tuán)。x2為下述式(x2)所表示的二價(jià)基團(tuán)。
15、[化學(xué)式2]
16、
17、(式(x1)中，r11及r12各自獨(dú)立地為氫原子或甲基。n1及n2各自獨(dú)立地為0~7的整數(shù)。r13為碳原子數(shù)為1~8的二價(jià)烴基，在其碳原子間任選包含酯鍵或醚鍵。)
18、[化學(xué)式3]
19、
20、(式(x2)中，r21及r22各自獨(dú)立地為任選包含氫原子或雜原子的碳原子數(shù)為1~20的烷基。k為0~10的整數(shù)。)]
21、若為這種光敏樹脂組合物，則得到的固化覆膜具有高可靠性。
22、此外，本發(fā)明中特別優(yōu)選作為所述(c)成分的所述硅烷偶聯(lián)劑的配位取代基，具有氨基、硫醇基、羧基、膦基(phosphino?group)、氧化膦基(phosphine?oxide?group)及銨離子中的任意一種以上。
23、若為這種光敏樹脂組合物，則會抑制量子點(diǎn)在顯影時脫出，可獲得圖案的高發(fā)光特性。
24、此外，本發(fā)明中優(yōu)選所述光敏樹脂組合物中包含5~80質(zhì)量%的所述(c)成分。
25、若為這種光敏樹脂組合物，則能夠在維持良好的發(fā)光特性的基礎(chǔ)上，進(jìn)行微細(xì)的圖案形成。
26、此外，本發(fā)明中，優(yōu)選進(jìn)一步包含(d)陽離子聚合性交聯(lián)劑。
27、若為這種光敏樹脂組合物，則能夠進(jìn)一步提高光固化后的樹脂覆膜的強(qiáng)度。
28、此外，本發(fā)明中，優(yōu)選進(jìn)一步包含(e)溶劑。
29、若為這種光敏樹脂組合物，則能夠提高涂布性。
30、此外，本發(fā)明中提供一種光敏樹脂覆膜，其為上述記載的光敏樹脂組合物的干燥體。
31、若為這種光敏樹脂組合物，則會成為具有高光刻分辨率、良好的發(fā)光特性的覆膜。
32、此外，本發(fā)明中提供一種光敏干膜，其具備支撐膜與在所述支撐膜上的上述記載的光敏樹脂覆膜。
33、若為這種光敏干膜，則具有高光刻分辨率、良好的發(fā)光特性。
34、此外，本發(fā)明中，提供一種圖案形成方法，其包括：
35、(i)將上述記載的光敏樹脂組合物涂布于基板上，在所述基板上形成光敏樹脂覆膜的工序；
36、(ii)對所述光敏樹脂覆膜進(jìn)行曝光的工序；及
37、(iii)利用顯影液對進(jìn)行了曝光的所述光敏樹脂覆膜進(jìn)行顯影，溶解去除非曝光部，從而形成圖案的工序。
38、此外，本發(fā)明中，提供一種圖案形成方法，其包括：
39、(i’)將上述記載的光敏干膜的所述光敏樹脂覆膜貼附在基板上，在所述基板上形成所述光敏樹脂覆膜的工序；
40、(ii)對所述光敏樹脂覆膜進(jìn)行曝光的工序；及
41、(iii)利用顯影液對進(jìn)行了曝光的光敏樹脂覆膜進(jìn)行顯影，溶解去除非曝光部，從而形成圖案的工序。
42、若為這些圖案形成方法，則能夠以高光刻分辨率形成圖案，能夠得到具有良好的發(fā)光特性的覆膜的圖案。
43、此外，本發(fā)明中提供一種發(fā)光元件，其具備在上述記載的光敏樹脂覆膜上形成了圖案的固化覆膜。
44、此外，本發(fā)明中提供一種發(fā)光元件，其具備在上述記載的光敏干膜的所述光敏樹脂覆膜上形成了圖案的固化覆膜。
45、若為這種發(fā)光元件，則具有高光刻分辨率、良好的發(fā)光特性。
46、(三)有益效果
47、本發(fā)明的光敏樹脂組合物通過包含具有縮水甘油基的有機(jī)硅樹脂、陽離子光聚合引發(fā)劑、使利用硅烷偶聯(lián)劑進(jìn)行了配位處理的量子點(diǎn)與烷氧基硅烷、烷氧基硅烷水解物或其縮合物共聚而成的聚合物，能夠容易形成具有高分辨率、良好的發(fā)光特性的覆膜，因此適用于發(fā)光元件。
1.一種光敏樹脂組合物，其特征在于，其包含：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其特征在于，所述(c)成分包含具有縮水甘油基的骨架。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其特征在于，所述(a)成分包含下述式(a1)~(a4)所表示的重復(fù)單元，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其特征在于，作為所述(c)成分的所述硅烷偶聯(lián)劑的配位取代基，具有氨基、硫醇基、羧基、膦基、氧化膦基及銨離子中的任意一種以上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其特征在于，所述光敏樹脂組合物中包含5~80質(zhì)量%的所述(c)成分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其特征在于，其進(jìn)一步包含(d)陽離子聚合性交聯(lián)劑。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光敏樹脂組合物，其特征在于，其進(jìn)一步包含(e)溶劑。
8.一種光敏樹脂覆膜，其特征在于，其為權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的光敏樹脂組合物的干燥體。
9.一種光敏干膜，其特征在于，其具備支撐膜與在所述支撐膜上的權(quán)利要求8所述的光敏樹脂覆膜。
10.一種圖案形成方法，其特征在于，其包括：
11.一種圖案形成方法，其特征在于，其包括：
12.一種發(fā)光元件，其特征在于，其具備在權(quán)利要求8所述的光敏樹脂覆膜上形成了圖案的固化覆膜。
13.一種發(fā)光元件，其特征在于，其具備在權(quán)利要求9所述的光敏干膜的所述光敏樹脂覆膜上形成了圖案的固化覆膜。